扫描的速度很重要。当探头缓慢地扫过一个**,探头就能采集到较多的粒子,并可发现更多的泄漏点。而对过滤器扫描太快的话,就会漏掉一些泄涌点。要防止发生这类情况扫描速度不宜超过5厘米/秒,美国环境科学与技术学会推荐准则IEST-RP-CCO06中给出了更科学的方法来确定扫描速度。
在使用光度计时,用其在过滤器的后面测试气溶胶的浓度,并将光度计调整至适当的值。而这个浓度值是根据允许泄漏值确定的。如果允许泄漏值为 0.01%,则气溶胶的合适浓度应是 10ug/l。然后调整光度计,将上风向的浓度调为 100%读数,这样就可以从光度计刻度盘上直接读出穿透率。如果测试气溶胶在过滤器的后面所生成的污染浓度超过了 0.01%,则可视其为泄漏。
过滤器最常见的泄漏是在过滤器的四边,泄漏可能来自于过滤器内外框的密封处,也可能从洁净室内向上安装过滤器时,过滤器内框结合部位产生泄漏。若为前者,巩怕要将过滤器取下重新正确地安装。若过滤器是从室内向上安装的,恐怕就难以分辨出是外框的泄漏,还是外框与固定框之间的泄漏。这时恐怕就必须将过滤器放在台子上检查,整修,再探测其外框的泄漏,另外还要检查固定框的泄漏。